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淺溝槽隔離對MOSFET電學特性的影響

摘要:隨著工藝制程的不斷進展,淺溝槽隔離技術(shù)(STI)成為深亞微米后的主流隔離技術(shù)。文章通過測試分析不同柵到有源區(qū)距離(SA)晶體管(MOSFET)器件的柵和襯底電流,分析了180nm N溝道晶體管中STI對于柵和襯底電流的影響。結(jié)果表明柵電流隨著SA的縮小呈現(xiàn)先縮小后增大的趨勢,襯底電流在常溫以及高溫下都隨著SA的減小而減小。文章用應(yīng)力機制導(dǎo)致的遷移率以及載流子濃度的變化對柵和襯底電流的變化趨勢進行了分析,通過改進伯克利短溝道絕緣柵場效應(yīng)晶體管模型(BSIM)模擬了STI對襯底電流的影響,為設(shè)計人員進行低功耗設(shè)計提供了襯底電流模型。

關(guān)鍵詞:
  • 柵電流  
  • 淺溝槽隔離  
  • 隧穿  
  • 能帶結(jié)構(gòu)  
作者:
張海峰; 劉芳; 陳燕寧; 原義棟; 付振
單位:
北京智芯微電子科技有限公司; 國家電網(wǎng)公司重點實驗室電力芯片設(shè)計分析實驗室; 北京100192; 北京智芯微電子科技有限公司; 北京市電力高可靠性集成電路設(shè)計工程技術(shù)研究中心; 北京100192
刊名:
電子與封裝

注:因版權(quán)方要求,不能公開全文,如需全文,請咨詢雜志社

期刊名稱:電子與封裝

電子與封裝雜志緊跟學術(shù)前沿,緊貼讀者,國內(nèi)刊號為:32-1709/TN。堅持指導(dǎo)性與實用性相結(jié)合的原則,創(chuàng)辦于2002年,雜志在全國同類期刊中發(fā)行數(shù)量名列前茅。

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