摘要：現(xiàn)有尺寸測量方式精度低,測量費(fèi)時費(fèi)力。為了提高尺寸測量的精度,使測量系統(tǒng)便攜化,操作簡單,文中實現(xiàn)了一種基于線陣CCD的精密尺寸測量系統(tǒng)。文中提出新的象元細(xì)分方法,將2個像元間距為8μm的線陣CCD等距錯排并以60°斜放,可突破像元間距對測量精度的限制,將最大測量誤差減小為2μm,在此基礎(chǔ)上采用浮動閾值方法進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,實現(xiàn)高精度尺寸測量。利用FPGA進(jìn)行硬件描述實現(xiàn)線陣CCD的驅(qū)動,對CCD的輸出信號進(jìn)行差分放大,采用硬件濾波方法消除曝光積分和轉(zhuǎn)移過程中的電子學(xué)噪聲,采用10位模數(shù)轉(zhuǎn)換器實現(xiàn)數(shù)字量的并行輸出,FPGA內(nèi)部FIFO存儲數(shù)字量結(jié)果。系統(tǒng)充分利用FPGA的可編程資源,有效降低了硬件設(shè)計復(fù)雜度,無需上位機(jī)或者ARM,節(jié)約成本,系統(tǒng)小型化便攜化。實驗表明,該系統(tǒng)有效克服光源及電子學(xué)噪聲影響,可對1 mm-29 mm的中型尺寸物體進(jìn)行測量,誤差小于2μm。