摘要：利用掃描電鏡研究φ0.025 mm的Ag-0.8Au-0.3Pd-0.03Ru銀基鍵合線不同鍵合參數對無空氣焊球(free air ball,FAB)形狀及球焊點、楔焊點形貌的影響,結果表明,燒球電流或者燒球時間其中之一不變時,FAB直徑隨著燒球時間(燒球電流一定)和燒球電流(燒球時間一定)的增加而增大,燒球電流為30 mA、燒球時間為700μs時,鍵合線FAB呈標準圓球形;鍵合壓力一定時,鍵合線球焊點焊盤直徑隨著超聲功率的增大而顯著增加,鍵合功率為80 mW、鍵合壓力0.30 N時,球焊點具有較好的微觀形貌;鍵合壓力為0.25 N,超聲功率為80 mW時,楔焊點具有規則的魚尾形貌,并具有較好的連接強度。