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掃描干涉光刻機的超精密移相鎖定系統

摘要:掃描干涉光刻機移相鎖定是實現大面積高精度全息光柵曝光拼接的關鍵之一。為了實現大面積高精度全息光柵高精度曝光拼接,針對掃描干涉光刻機步進掃描拼接軌跡,重點開展了移相鎖定系統的研究。在零差移頻式相位鎖定分系統和外差利特羅式光柵位移測量干涉儀的基礎上,闡述了掃描干涉光刻機的新型移相鎖定系統原理。針對新型的移相鎖定系統原理,構建了移相鎖定控制系統實驗裝置。最后,基于移相鎖定控制實驗裝置,針對移相鎖定定位性能,開展了移相鎖定定位控制實驗以及影響控制精度的因素分析,實現了±3.27 nm(3σ,Λ=251 nm)的定位控制精度;針對移相跟蹤控制性能,在移相跟蹤控制精度實驗分析的基礎上,利用陷阱濾波&PID控制實現了±4.17 nm(3σ,Λ=251 nm)的跟蹤控制精度。

關鍵詞:
  • 掃描干涉光刻  
  • 零差移頻式相位鎖定  
  • 外差利特羅光柵干涉儀  
  • 移相鎖定控制  
  • 陷阱濾波  
作者:
王磊杰; 張鳴; 朱煜; 魯森; 楊開明
單位:
清華大學機械工程系摩擦學國家重點實驗室&精密超精密制造裝備及控制北京市重點實驗室; 北京100084
刊名:
光學精密工程

注:因版權方要求,不能公開全文,如需全文,請咨詢雜志社

期刊名稱:光學精密工程

光學精密工程雜志緊跟學術前沿,緊貼讀者,國內刊號為:22-1198/TH。堅持指導性與實用性相結合的原則,創辦于1959年,雜志在全國同類期刊中發行數量名列前茅。

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