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MEMS器件深腔金屬引線制備工藝研究

摘要:為解決在MEMS器件深腔結構中出現的引線斷裂問題,提出了一種W/WNx/Cr/Au四層金屬引線制作方法,解決了Au擴散和深腔結構中引線斷裂的問題。通過選擇噴膠法,選擇最合適的光刻參數,解決深腔金屬引線光刻難題,制備得到W/WNx/Cr/Au四層金屬引線,該引線具有低電阻率、高穩定性等優點,完全滿足MEMS器件引線連接要求。

關鍵詞:
  • 深腔結構  
  • 金屬引線  
  • 噴膠  
作者:
王帆; 劉磊; 陳博; 管朋
單位:
中國兵器工業第214研究所; 蚌埠233042
刊名:
集成電路通訊

注:因版權方要求,不能公開全文,如需全文,請咨詢雜志社

期刊名稱:集成電路通訊

集成電路通訊雜志緊跟學術前沿,緊貼讀者,堅持指導性與實用性相結合的原則,理論聯系實際,創辦于1983年,雜志在全國同類期刊中有很重的學術價值。

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