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MEMS器件刻蝕防反濺研究

摘要:對在不同厚度二氧化硅下刻蝕離子對懸浮結構造成的反濺刻蝕損傷進行對比研究,獲得了最優防反濺二氧化硅厚度。在最小和最大刻蝕尺寸一定的情況下,硅互連引線上熱氧化生長厚度分別為2000A°、1000A°、600A°和400A°,的二氧化硅,通過刻蝕釋放實驗觀察刻蝕后硅引線和懸浮結構背面形貌。可獲得最優二氧化硅厚度為600A°,此時刻蝕離子對懸浮結構背面反濺刻蝕損傷最小。

關鍵詞:
  • mems  
  • 反濺損傷  
  • 深反應離子刻蝕  
  • 二氧化硅  
作者:
宋東方; 何凱旋; 段寶明; 丁艷麗; 管朋
單位:
中國兵器工業第214研究所; 蚌埠233042
刊名:
集成電路通訊

注:因版權方要求,不能公開全文,如需全文,請咨詢雜志社

期刊名稱:集成電路通訊

集成電路通訊雜志緊跟學術前沿,緊貼讀者,堅持指導性與實用性相結合的原則,理論聯系實際,創辦于1983年,雜志在全國同類期刊中有很重的學術價值。

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