摘要：為研究超精密加工設備隔振基礎的隔振效果,以某超精密加工設備為研究對象,設計了隔振系統,分析了系統在環境微振動下的振動響應,發現在x方向能得到很好的隔振效果。另外,通過調整隔振基礎厚度和隔振彈簧剛度,分析了加工設備對外界環境微振動的響應變化情況。
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