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激光清洗技術在微電子領域的應用

摘要：本文介紹了激光清洗技術在微電子領域的應用,對該技術在清除細微顆粒方面所具有的獨到的優越性進行了探討.

關鍵詞：
  • 激光清洗  
  • 微電子  
  • 激光輻射  
  • 激光器  
作者：
趙志明
單位：
西安交通大學電信學院，陜西西安710049
刊名：
洗凈技術

注：因版權方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社

期刊名稱：洗凈技術

洗凈技術雜志緊跟學術前沿，緊貼讀者，是一本綜合性月刊，堅持指導性與實用性相結合的原則，創辦于2003年，雜志在全國同類期刊中有很重的學術價值。

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