摘要：基于聚焦離子束掃描電子顯微鏡的飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜聯(lián)用技術(shù)同時(shí)具備了聚焦離子束高空間分辨率以及飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜輕元素、同位素分析以及較低的元素檢出限的優(yōu)勢(shì)?？梢詫?shí)現(xiàn):掃描電鏡下原位分析H、Li、Be、B等輕元素;元素分布的納米級(jí)橫向空間分辨率;元素三維空間分布。能夠同時(shí)得到納米級(jí)礦物的形貌、元素組成以及元素空間分布信息,該技術(shù)在地學(xué)領(lǐng)域有廣闊的應(yīng)用前景。