摘要：搭建了基于SEM(Scanning Electron Microscope)的多靶材X射線顯微成像系統,并對其成像原理進行了分析,改裝后的X射線顯微成像系統可以通過切換靶材來實現對低能X射線的能量調節,進而實現對輕質樣品不同區域的高分辨率、高對比度成像;在現有的平臺上,分別使用鋁、鉻、鎢3種靶材對楊樹葉和螞蟻樣品進行了DR(Digital Radiography)成像實驗,并且對幾種靶材的DR成像結果進行了分析.結果表明:使用鋁靶材對樣品的輕薄(~100μm)、邊界區域進行成像,容易獲得較好的對比度;而鉻、鎢靶材則可以在樣品較厚(小于1 mm)時獲得較好的襯度.